Port는 디스플레이 및 반도체 생산공정간 CST 이송을 위한 반송설비로 OHS(Overhead Shuttle) 또는 OHT(Overhead Hoist Transport)와 Shuttle Booth간의 중간 반송 역할을 하는 장비임

종류에는 목적에 따라 고정,주행,턴,업다운으로 구분하여 제작 및 설치하여 사용

EFEM은 다관절 Robot 등으로 이루어진 장비이며, 자동화 공정의 중요 장비로서 반도체에서는 웨이퍼 또는 마스크 등을 전공정과 후공정에 공급해 주는  핵심 장비임